理学顺序式波长色散X射线荧光光谱仪 ZSX Primus 400是一款面向大型、重型及不规则样品元素分析的顺序式WDXRF光谱仪。仪器能够对Be至U范围内的元素进行快速、无损的定性、定量和半定量分析，适用于金属与合金、矿石、岩石、土壤、煤炭、粉煤灰、水泥、陶瓷、玻璃、聚合物、晶圆、磁盘、印刷线路板、薄膜及工业涂层等多种材料。

仪器配备大型样品室，可容纳直径最大400 mm、高度最大50 mm、重量不超过30 kg的样品。通过不同规格的样品适配器，可以安装标准XRF样品、5至12英寸晶圆、磁盘、矩形样品和不规则工件，减少大型样品切割或重新制样带来的工作量及代表性误差。

ZSX Primus 400采用端窗型铑靶X射线管，可配置3 kW或4 kW功率。高压发生器采用高频逆变系统，最大额定功率4 kW，最高工作范围为60 kV、150 mA。可选SuperTrace 30超薄30 μm铍窗X射线管，有助于提高低原子序数元素的激发效率和检测灵敏度，缩短轻元素分析时间。

波长色散光学系统可自动选择最多10块分析晶体，覆盖从Be至U的宽元素分析范围。标准配置中采用高灵敏度弯晶PET和Ge分析晶体，与相应平面晶体相比，部分元素的检测强度可提高约30%。RX85人工多层膜晶体可增强B-Kα谱线强度，提升硼等轻元素的分析性能。

仪器配备自动切换的一次X射线滤光片机构，最多可安装7片滤光片。标准滤光片包括Ni400、Ni40、Al125和Al25，并可选配Ti、Sn衍射干扰抑制滤光片及Be30 X射线管保护滤光片。重元素采用SC闪烁计数器检测，轻元素采用F-PC流气式正比计数器检测。F-PC具备中心丝自动清洁功能，有助于保持检测稳定性并减少日常维护。

理学顺序式波长色散X射线荧光光谱仪 ZSX Primus 400支持φ30、20、10、1和0.5 mm多档分析区域选择，最小可对约500 μm区域进行元素定量分析。自动r-θ样品台、样品观察摄像头和智能软件可以将X射线束高强度区域准确定位到待测位置，适合小区域、多点及非均匀样品分析。

仪器具有元素面扫描功能，面扫描步进可达100 μm。最大可对直径400 mm圆形样品或180×250 mm矩形样品进行全区域扫描，获得元素在样品表面的二维或三维分布结果，可用于评价材料均匀性、定位富集区域、分析表面污染和研究涂层缺陷。典型应用包括线路板铜元素分布、花岗岩矿物微区分析、沉积岩硫元素分布及防锈涂层磷元素分布。

ZSX Guidance软件采用流程化图形界面，引导用户完成应用程序建立、测量元素选择、测量条件优化、标准样品测量、漂移校正、工作曲线建立和结果输出。软件支持经验系数法以及基本参数法分析，并具有定性谱图识别、干扰元素提示和设备状态实时显示功能。

可选SQX基本参数法软件能够在减少标准样品数量的情况下，对多种类型样品进行半定量分析；配合标准样品和Matching Libraries匹配数据库，可以提高未知样品的分析准确度。散射FP方法可对粉煤灰、土壤、聚合物等含有未测轻元素组分的样品进行基体修正。定量FP软件还可用于多层薄膜的成分和厚度分析，以及熔片的稀释、烧失量和挥发修正。