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| 品牌 | Thermofisher Scientific/赛默飞世尔 | 应用领域 | 综合 |
|---|
Thermo Scientific Axia ChemiSEM
--扫描电子显微镜
成像即刻融合成分信息
全新一代Axia ChemiSEM扫描电镜其成像平台即时可用，且集成独特的实时定量能谱面分析功能，专为快速分析而设计，操作简单，新手用户也可轻松操纵。
实时定量元素面分析
Thermo Scientific™ Axia™ ChemiSEM 引入一种全新的能谱分析概念，采用独特方法进行样品成分信息的采集、处理和展示。传统能谱会利用二次电子或背散射电子信息，却不利用其图像进行数据处理，因而数据获取速度较慢，而且图像分辨率相对粗糙。相比而言，Axia ChemiSEM 采集数据所用的是同一扫描发生器，将扫描电镜图像与能谱图像对中，因而图像更加锐利，图像噪音更少。另外，此外，脉冲处理采用自适应脉冲整形技术，确保各种条件下均能获得可靠数据。
元素分布图通过定量算法形成，因此，所显示的成分数据可靠，且结果中不会出现重叠峰误判等。专有的阴影检测算法帮助确保信息来自于 检测到X射线的区域。
启用方便、快速
Axia ChemiSEM 依托先进镜筒技术，保持系统始终处于最佳状态，可聚焦样品采集数据，随时提供高质量图像。系统同时集成了创新性的交互式用户指南，帮助用户充分利用系统的各项高级功能。能谱集成在用户界面中，可轻松完成成分分析，从而大程度提高工作效率。
扫描电子显微镜主要优势
实时成分信息：同步扫描获取多种信号时执行能谱分析，实时检测形 貌与元素信息 成像平台即时可用：只需专注数据采集，不必忧虑电镜条件设置
更快获得数据：多种成像和扫描策略，优化图像采集效果并提升系统 处理能力
灵活的样品台设计：全开门式设计，大样品可轻松放入样品仓内；样品台可容纳重达 10 kg 的样品
独特的成像性能：提供低真空模式和电子束减速模式用于消除荷电效应
样品加载灵活
Axia ChemiSEM 采用全开门式设计，系统耐用性和灵活性更高，可以加载大而重(重达10 kg)的样品，从而节省样品制备时间。
提供独特的成像性能
Axia ChemiSEM 全方面性能表现出色，可表征各种不同类型材料，提供全面的信息。低真空模式下压力可达150Pa，能够分析广泛类型的样品。在分析不导电样品方面，低真空模式不仅可以消除荷电效应，还可以增强材料衬度，并支持采用较大束流进行成分分析。
多种软件及检测功能满足高级应用需求
Axia ChemiSEM 可搭载多款 Thermo Scientific 扫描电镜软件实现多种自动化功能。同时，Thermo Scientific AutoScript ™ 软件可提供定制化流程开发。系统也可选配耐用且易用的阴极荧光探测器。
维护简单
Axia ChemiSEM 灯丝更换十分简单，用户可自行轻松完成。系统采用简约化设计，维护快速，可保持长时间正常运行。
技术亮点
电子光学
• 具有四阳极源发射几何结构的高性能热发射 SEM 镜筒
• 稳定的电子对中镜筒，配置固定物镜光阑，易于操作
• 灯丝更换全自动对中程序
• 45°物镜几何结构
• 配备“穿过透镜"的压差真空系统，降低电子束散射裙边效应，在低真空、小束流下实现最准确分析及最高分辨率成像电子束分辨率
• 高真空成像
— 3.0 nm @ 30 kV (SE)
— 8.0 nm @ 3 kV (SE)
• 高真空下电子束减速模式 — 7.0 nm @ 3 kV (电子束减速模式* + 背散射电子探测器)
• 低真空成像
— 3.0nm @ 30 kV (SE)
— 4.0nm @ 30 kV (BSE)
— 10nm @ 3 kV (SE)电子束参数
• 电子束流范围：最大2 μA，连续可调
• 加速电压范围：200V ~ 30 kV
• 放大倍数：5 ~ 1,000,000× (宝丽来倍数) 样品仓
• 内宽：280 mm
• 分析工作距离：10 mm
• 端口：10个
• EDS 取出角：35°
• 可安装正对的双能谱探测器
• 共面 EDS/EBSD 与样品台倾斜轴垂直
探测器
利用探测器或探测器分割部分的任意组合，可同时检测多达四个信 号：
• ETD：Everhart-Thornley 二次电子探测器
• 可伸缩背散射探测器
• TrueSight X EDS 探测器，固体角 13 mSr, 分辨率 129 eV；可选配升 级成 TrueSight LX - 38 mSr, 132 eV
• 低真空二次电子探测器 (LVD)，标配用于低真空模式
• 红外CCD 相机
• Thermo Scientific Nav-Cam™ 导航相机
• 阴极荧光探测器，集成在用户界面中用于采集真彩图像*
• 电流测量*
• 支持第三方探测器
真空系统
• 1 × 84 升/秒 TMP, 1 × PVP
• 独特的“穿过透镜"压差真空系统
• 抽真空时间：高真空 ≤2 分钟，低真空 ≤4.5 分钟
样品托
• 标准多功能样品托，以独特方式直接安装到样品台上，可容纳 7 个标 准样品托架(φ12mm)，样品安装无需工具
• 单样品托
样品台
• 类型：五轴驱动样品台
• XY行程：120 x 120 mm
• Z 轴驱动行程：55 mm
• 旋转：n×360°
• 倾斜：-15° / +90°
• 最大样品高度： — 分析工作距离 (10 mm) 下 72 mm，无样品托 — 分析工作距离 (10 mm) 下 128 mm，拆下ZTR轴
• 最大样品重量： 任意样品台位置处为 500 g 移除ZTR轴时最大 10 kg
系统控制
• 64位GUI(Windows 10)、键盘、光学鼠标
• 24英寸LCD显示器、WUXGA 1920 x 1920(第二台显示器可选配)
• 定制化的图形用户界面，可同时激活多达4个视图
• 导航蒙太奇
• 撤销(Undo)/重做(Redo)功能
• 基本操作及应用用户指导
图像处理器
• 驻留时间范围：50 纳秒 ~ 25 毫秒/像素
• 最高 6144 × 4096 像素
• 文件类型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、JPEG 或 BMP
• 单帧或四帧图像显示
• SmartSCAN™ (256 帧帧平均或帧积分、线积分和线平均、跨行扫描)
• DCFI (漂移补偿帧积分)
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