场发射扫描电子显微镜怎么用？操作指南

　　一、操作前准备
 

　　样品预处理：确保样品干燥、无挥发性物质(避免污染镜筒)，导电样品可直接使用，非导电样品需喷金 / 喷碳处理(防止电荷积累)；样品尺寸需适配样品台，避免超出承载范围。
 

　　仪器检查：观察场发射扫描电子显微镜电源、真空系统是否正常，镜筒内无残留样品或杂物，冷却系统(如液氮)液位满足要求。
 

　　安全规范：穿戴防护手套(避免指纹污染样品 / 仪器)，严禁在真空未达标时开启电子枪，远离镜筒观察口(防止辐射)。
 

　　二、核心操作步骤
 

　　1. 样品装载
 

　　打开样品室门，将预处理好的样品固定在样品台上(确保安装牢固，避免移动)；
 

　　关闭样品室门，启动真空系统，等待真空度达到仪器要求(通常显示 “真空就绪” 指示灯亮)。
 

　　2. 启动电子枪与参数设置
 

　　真空达标后，开启电子枪，选择加速电压(根据样品类型调整，一般 1-30kV，导电样品可高电压，非导电样品用低电压)；
 

　　设置发射电流(遵循仪器推荐范围，避免过大损伤样品或仪器)。
 

　　3. 观察与定位样品
 

　　调节样品台 XYZ 轴，通过光学显微镜或低倍电子图像找到目标区域；
 

　　切换至合适放大倍数(从低倍到高倍逐步调整，低倍用于定位，高倍用于细节观察)。
 

　　4. 图像调节与采集
 

　　调节亮度、对比度，使图像清晰(避免过亮或过暗)；
 

　　选择图像分辨率(根据需求调整，高分辨率适合细节分析，低分辨率适合快速预览)；
 

　　点击 “采集” 按钮，保存图像(可选择 JPG、TIFF 等格式)。
 

　　5. 关机流程
 

　　先关闭电子枪，降低加速电压至 0；
 

　　等待真空系统泄压(不可强制开门)，泄压完成后取出样品；
 

　　关闭仪器电源、冷却系统，清理样品台及操作区域。
 

　　三、关键注意事项
 

　　真空未达标时，严禁开启电子枪或打开样品室门，否则会损坏镜筒和电子枪；
 

　　样品必须干燥、无腐蚀性，避免污染真空系统或镜筒内部；
 

　　调节放大倍数和样品台时，动作要缓慢，防止样品碰撞镜筒；
 

　　若场发射扫描电子显微镜出现图像模糊、放电等异常，立即关闭电子枪，联系技术人员排查，不可自行拆卸仪器。