Thermo Scientiffc™ Helios™ 5 Laser PFIB 是行业Helios 系列的第五代产品。其将拥有超高分辨率成像和最佳分析功能的顶尖 Thermo Scientiffc Elstar ™ SEM 镜筒、在各种操作环境下实现性能的等离子体聚焦离子束 (PFIB)，以及飞秒激光结合，实现原位消融，出色的材料去除率和以纳米分辨率实现快速的毫米级表征。

统计学相关表面下和3D表征

与 Ga FIB 激光相比，飞秒激光能够以超出数量级的速度切割材料。对于许多材料，可在 5 分钟内创建数百微米的大型横截面。光拥有不同的去除机制（消融与离子溅射），可以轻松处理具有挑战性的材料，例如非导电或对离子束敏感的样品；例如：玻璃、陶瓷、坚硬和柔软的聚合物、生物材料、石墨等。此外，不需要镀层提高导电性或者减轻窗帘效应，进一步节约时间，提高总吞吐量。

激光 PFIB 的设计会让三条光束（SEM/FIB/激光）指向单个重合点，使激光/SEM 切换时间非常短暂，且没有真空转移。这样可以提供高精度原位反馈，使其成为使用激光层析实现全自动超大体积 3D 表征的解决方案。

激光等离子双束电镜

激光等离子双束电镜

高品质的大体积分析

与经常产生分层问题的传统机械抛光技术相比，极短的飞秒激光脉冲几乎不会产生伪影，同时可以实现更高的定点准确性。飞秒激光不会产生热冲击、微裂隙和熔化效应。在大多数情况下，飞秒激光刻蚀的表面足够洁净，可以直接进行 SEM 成像，其质量也足以进行对表面敏感的 EBSD 面分布。需要进一步提高表面质量时，可以使用短暂的 PFIB 抛光程序来揭示极其细微的特征。与 Ga FIB 相比，基于等离子体的 FIB 对飞秒激光进行了最佳补充，以保持较高的吞吐量。

该仪器以可靠的 Helios 5 PFIB 平台为基础，包含了一整套顶尖的科学技术，并实现了常规 DualBeam™ 使用案例的最高性能，例如高分辨率 S/TEM 和原子探针装置 (APT) 样品制备，以及拥有精确材料对比度的高分辨率 SEM 成像。

Helios 5 Laser PFlB 实现了新应用

·大体积横截面获取以实现快速故障分析

·快速进入(P)FIB 通常无法触及的埋入表面下层

·对复杂形状、拉伸棒、块体、显微 CT 样本等进行快速、精确的微加工

·毫米级 3D 激光连续切片，包括使用 EDS 或 EBSD 进行分析表征

·在相同的真空室内使用飞秒激光处理和高分辨率 SEM 成像实现空气敏感样品(例如电池)的简单、快速表征

·具有挑战性的材料(例如，碳基、对离子束敏感和非导电)的快速、高品质处理

·通过深层表面下样品提取扩大关联显微镜的范围

激光等离子双束电镜