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半导体微聚焦X射线检测设备

简要描述:半导体微聚焦X射线检测设备专为半导体封装与电子元器件设计的高精度无损检测设备,采用微米级聚焦X射线技术,实现芯片内部结构的二维/三维可视化检测,满足半导体行业对缺陷分析的严苛要求。

基础信息

产品型号

AX8300Si

厂商性质

代理商

更新时间

2025-07-18

浏览次数

91
详细介绍
品牌日联科技应用领域综合
半导体微聚焦X射线检测设备 AX8300Si
半导体微聚焦X射线检测设备

2μm闭式管,高解析度
Lead Frame/BGA/IC/LED/IGBT检测
高速CNC巡航测算
Rework复判

AX8300Si 是一款专为半导体封装、电子元器件及精密制造领域设计的无损检测设备,采用微米级聚焦X射线技术,结合高精度机械系统和智能图像分析软件,可实现对芯片、焊点、封装结构等的非破坏性内部检测。其超高分辨率与自动化功能使其成为半导体质量控制、失效分析和工艺优化的关键工具。

核心技术优势

1. 微聚焦X射线成像系统

X射线源:封闭式微焦点射线管,焦点尺寸 ≤0.5μm,能量范围 20-160kV(可调),确保高穿透力与细节解析能力。

探测器:高灵敏度平板探测器(分辨率 3072×3072像素),支持 16bit灰度成像,动态范围广,可清晰呈现微米级缺陷。

放大倍率:光学几何放大最高 5000X,可检测 0.2μm级缺陷(如晶圆裂纹、微孔洞)。

2. 多模态检测能力

2D实时成像:高速扫描(帧率≥30fps),适用于产线快速抽检。

3D-CT断层扫描:通过多角度投影重建三维模型(体素分辨率 ≤1μm),支持内部结构分层分析。

AI智能分析:内置深度学习算法,自动识别 BGA虚焊、引线断裂、封装分层 等典型缺陷,分类准确率 ≥99%。

3. 高精度机械系统

载物台:高刚性大理石平台,行程 300×300×200mm(可定制),定位精度 ±1μm,支持自动旋转(360°连续扫描)。

安全防护:铅屏蔽舱体(辐射泄漏<1μSv/h),符合 ISO 9001 & IEC 61223 安全标准。

4. 全自动化选配

机械臂上下料:兼容JEDEC托盘或卷带包装,实现无人化检测。

MES系统对接:支持检测数据自动上传至工厂管理系统,生成SPC报告。


半导体微聚焦X射线检测设备 AX8300Si

软硬兼备

带领X射线检测设备新风潮

应用领域

精密电子制造行业、半导体行业(集成电路)汽车电子行业、航空航天电子行业

检测项目

锡焊缺陷(缺焊/连锡/气泡)

Bonding缺陷(金线变形/断丝/芯片偏移)

SPC过程控制等

半导体微聚焦X射线检测设备






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