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| 品牌 | Thermofisher Scientific/赛默飞世尔 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 极限速度 | 14400花样/秒空间分辨率:20nm角分辨率:0.1°布鲁克EBSD系统布鲁克 | 角分辨率 | 0.1° |
| 空间分辨率 | 20nmnm | CCD相机空间分辨率 | 常规 |
| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 化工 |
eWARP具有更高的信号检测灵敏度,仅需要较低的加速电压和束流,例如10 kV加速电压和12 nA的束流,就可以达到每秒14,400个花样的最大检测速度,并且在这样的电子束条件下可以得到足够高的花样质量,使用ESPRIT软件进行分析时标定率可以超过99%。
和在20 kV下获得的传统EBSD图相比,由于加速电压的降低,可以使其空间分辨率提高两倍。换言之,eWARP能够以至少25nm的分辨率和很好的花样标定率在很快的速度下采集EBSD分布图。
eWARP令人难以置信的速度和更好的空间分辨率将对很多EBSD的主要应用场景产生重大影响,特别是大面积检测、3D EBSD和原位动态实验等方面具有突破性的进展。

10 kV 将成为新的常规测试条件: 更好的统计性和空间分辨率
eWARP具有更高的信号检测灵敏度,在低加速电压EBSD检测下具有特殊的优势,因而在空间分辨率和标定质量方面取得了新的的进步,这使得EBSD能够在以前很困难甚至无法涉入的材料应用领域中有突破并且得到更好的结果。
电池材料研发和生产是一个新兴领域,EBSD在该领域中也显示出了巨大的应用前景。晶粒尺寸、形状以及大角度晶界的比例等会影响电池的一些相关性能,如电池容量、充电速度、寿命和安全性。
图4展示了锂镍钴锰(NCM)电池的大面积取向分布图,图中包含了约12,000颗尺寸很小的晶粒。图4中提取的部分给出了其中一个NCM粒子的精细微观结构。

10 kV EBSD在表征钢和钛合金中的马氏体结构时优势尤为明显。更低的加速电压使电子束与样品的相互作用体积更小,提高了空间分辨率和菊池花样的对比度,可以得到更多的菊池带,使标定率更好,从而得到质量更高的检测数据,这对于EBSD的检测结果与材料的相关性能分析至关重要。
图5展示了通过常规机械抛光方法制备的马氏体不锈钢样品的EBSD检测数据。花样质量图(上)显示了典型的马氏体板条结构,步长20纳米。相应的晶体取向图(下)清楚地显示了未经降噪处理的原始数据就具有很高的标定率。
